產品詳情
l 設備型號: CVD(G)-09/50/1
l MAX溫度: 1650℃
l 工作溫度: 1000~1600℃
l 加熱區長度:500mm 恒溫區:300mm
l 爐管實際尺寸:Φ90(外徑)×1250mm (具體尺寸以設計圖紙為準)
l 爐管材質: 優質99剛玉管
l 爐膛材料: 氧化鋁、高鋁和硅酸鋁纖維制品
l 控制溫區個數: 1個,B分度熱偶
l 控溫精度:±1℃,日本進口智能溫度控制儀,PID參數自整定超溫、欠偶、斷偶報警保護。
l 加熱元件: 優質U型硅鉬棒
l 氣體種類及流量范圍:氮氣:0.2~2L/min 浮子流量計控制
l 真空系統:配備擴散泵機組,泵冷態極限真空度0.001Pa
l MAX加熱功率:10Kw
l 空爐保溫功率:約4Kw
l 外形尺寸約為:1250×750×1650(L×W×H)
l 建議升溫速率: 3℃~5℃/min
l 輸入動力電源: 三相電源,50HZ ,380V±10%;12KW
l 爐體表面溫升: ≤35℃