產品詳情
瑞士Inficon英福康真空計 CDG025D電容膜片式真空計
INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能. 先進的數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽 (專利申請) 保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高 EMC 兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩定性和暴露大氣后的快速恢復性設定新的標準.
瑞士Inficon英福康真空計 CDG025D電容膜片式真空計優勢：
全量程范圍從100毫乇 … 1000乇
加電源后快速穩定性
從大氣壓的快速恢復性
抗腐蝕的陶瓷傳感器
卓越的長期訊號穩定性
溫度補償
傳感器有防污染保護
一鍵調零功能
寬范圍電源
兩個設點 (可選)
RS232 接口 (可選)
瑞士Inficon英福康真空計 CDG025D電容膜片式真空計用途：
半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD
數據貯存和顯示器制造設備
工業真空設備
一般高精度壓強測量
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