產品詳情
三、 技術指標：
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真空吸盤尺寸： |
?200mm |
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吸盤轉速（連續可調）: |
0-300rpm/min |
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吸盤電機功率: |
2.2KW 380V 3相 |
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光柵控制系統： |
分辨率0.0005mm |
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磨輪轉速（可調): |
0-3000rpm/min |
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磨輪馬達功率: |
5.5kw |
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產品減薄后平行度： |
≦3um |
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磨輪最小設定步距： |
0.1um/s |
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水箱尺寸 |
780*480*550mm |
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外形尺寸： |
1010*1210*2070mm |
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重量： |
1200KG |
四、安裝環境：
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序號 |
項目 |
指標要求 |
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1 |
環境 |
室內地面平坦、無振動源 |
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2 |
水源 |
純水或自來水 |
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3 |
電源 |
三相五線 380V |
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4 |
壓縮氣源 |
0.5～0.8Mpa 消費量 50L/min 氣壓接線口徑：φ8 |
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5 |
排水 |
循環使用 |
